Máy phân tích Boron online Sievers Boron Ultra

Máy phân tích boron online Veolia Sievers Boron Ultra

Name: Máy phân tích boron online Veolia Sievers Boron Ultra
Brand: Veolia

Máy phân tích Boron online Sievers Boron Ultra giám sát liên tục boron trong nước siêu tinh khiết (UPW) đến mức một phần nghìn tỷ (ppt), dải đo 0,010 – 100 ppb B, 20 điểm dữ liệu mỗi giờ, cho ngành bán dẫn và vi điện tử.

hoặc

Điểm nổi bật

Giám sát boron online liên tục xuống đến mức đơn vị phần nghìn tỷ (ppt).

Khi chip bán dẫn ngày càng nhỏ và phức tạp hơn, nhu cầu về nước siêu tinh khiết (UPW) chất lượng cao trở nên then chốt. Chỉ một chút nhiễm bẩn nhỏ nhất cũng có thể gây ra lỗi nghiêm trọng, vì vậy phát hiện sớm tạp chất là điều thiết yếu trong sản xuất vi điện tử.

Điều gì đang bị đe dọa? Hiệu suất sản phẩm (yield), các quy trình phía sau và những chi phí không cần thiết.

Máy phân tích Sievers Boron Ultra giám sát online liên tục, không cần người trực nồng độ boron trong các quy trình UPW với độ nhạy đến phần nghìn tỷ (ppt). Điều này hỗ trợ đáp ứng các tiêu chuẩn kỹ thuật của vòng tuần hoàn sơ cấp (primary loop) và vòng hoàn thiện (polish loop), đồng thời cho phép nhà sản xuất tối ưu thời điểm tái sinh cột nhựa trao đổi ion (IX). Giám sát boron là chiến lược kiểm soát quy trình trao đổi ion chủ động nhất và vượt trội hơn nhiều so với giám sát silica hay nhiễm bẩn ion.

Hiệu năng online và tối ưu hóa quy trình

Máy phân tích Sievers Boron Ultra có thể giảm đáng kể chi phí vận hành và duy trì chất lượng trong hệ thống UPW.

Boron Ultra phát hiện sự gia tăng boron trước khi silica bị giải phóng, trở thành công cụ quan trọng để ngăn silica dạng keo và silica dạng ion rò rỉ vào nước siêu tinh khiết. Máy được dùng để dự đoán thời điểm cạn kiệt của nhựa trao đổi ion hỗn hợp (mixed-bed), tối ưu hiệu năng điện khử ion (EDI) và kiểm soát mức nhiễm bẩn của vòng sơ cấp và vòng hoàn thiện.

Boron Ultra hỗ trợ giới hạn boron 50 ppt trong UPW bán dẫn theo Lộ trình quốc tế về thiết bị và hệ thống (International Roadmap for Devices and Systems – IRDS), hỗ trợ kiểm soát nhiễm bẩn boron và silica.

Sievers Boron Ultra được thiết kế với sự hợp tác của các nhà sản xuất bán dẫn để đáp ứng nhu cầu của người quản lý cơ sở, chủ sở hữu hệ thống UPW và kỹ sư kiểm soát quy trình UPW.

Độ nhạy đến phần nghìn tỷ (ppt)
20 điểm dữ liệu mỗi giờ
Đáp ứng tiêu chuẩn kỹ thuật của vòng sơ cấp và vòng hoàn thiện
Tối ưu hóa việc tái sinh nhựa trao đổi ion
Kiểm soát nhiễm bẩn silica và boron

Tính năng và lợi ích của Boron Ultra

Giám sát online liên tục boron xuống đến mức đơn vị phần nghìn tỷ (ppt)
20 điểm dữ liệu mỗi giờ
Đáp ứng tiêu chuẩn kỹ thuật của vòng sơ cấp và vòng hoàn thiện
Đáp ứng mọi yêu cầu về dấu UKCA và CE
Tùy chọn nhiều dòng mẫu – có bản 1 dòng (One-Stream) và 2 dòng (Two-Stream)
Giao diện đồ họa (GUI) hiện đại, trực quan với màn hình cảm ứng 10,1 inch, đèn nền LED nhiều màu
Bộ ngõ ra phong phú – 2 ngõ ra analog 4–20 mA cách ly; 2 ngõ ra cảnh báo; 2 ngõ ra nhị phân cách ly; 2 cổng USB 2.0; và 1 cổng Gigabit Ethernet
Bảo trì và vật tư tiêu hao tối thiểu

Lĩnh vực ứng dụng

Thông số kỹ thuật

Dải đo	0,010 – 100 ppb B
Giới hạn định lượng (LOQ)	0,030 ppb B
Giới hạn phát hiện (LOD)	0,010 ppb B
Độ chính xác (Accuracy)	± 0,01 ppb B khi < 0,03 ppb B; ± 15% khi ≥ 0,03 ppb B
Độ chụm (Precision)	SD ≤ 0,003 ppb B khi ≤ 0,100 ppb B; RSD ≤ 3% khi > 0,100 ppb B
Điện trở suất mẫu tối thiểu	15 MΩ·cm
Nhiệt độ mẫu	15 – 40 °C (59 – 104 °F)
Lưu lượng mẫu	50 – 400 mL/phút
Áp suất mẫu	103 – 689 kPa (15 – 100 psig)
Độ ổn định hiệu chuẩn	Thường 12 tháng
Hạt trong mẫu	Lọc sơ bộ 15 micron
Đường xả	Xả tự chảy (không có áp suất ngược), có thông khí
Chế độ phân tích	Online, Trung bình (Averaged) và Online định thời (Online Timed)
Thời gian phân tích	3 phút hoặc 6 phút
Nguồn điện	100 – 240 VAC, 40 W, 50/60 Hz
Chứng nhận an toàn	CE, UKCA, đạt chứng nhận ETL. Phù hợp UL Std. 61010-1. Được chứng nhận theo CSA 22.2 No. 61010-1
Màn hình	Màn hình cảm ứng đèn nền LED 10,1 inch, 1280 x 800
Cấp bảo vệ	IP 45
Ngõ vào	3 ngõ vào nhị phân cách ly
Ngõ ra	2 ngõ ra analog 4-20 mA cách ly; 2 ngõ ra cảnh báo; 2 ngõ ra nhị phân cách ly; 2 cổng USB 2.0 (1 ngoài, 1 trong); 1 cổng Gigabit Ethernet
Giao thức truyền thông	Modbus TCP/IP
Quá áp quá độ	Cấp lắp đặt (quá áp) II (giả định cấp độ ô nhiễm môi trường thiết bị là 2 khi thử nghiệm và đánh giá độ cách điện)
Kích thước	C 54,2 x R 59,3 x S 38,8 cm (C 21,35 x R 23,35 x S 15,27 in)
Khối lượng	Không tải: 21,75 kg (48 lb); kèm vật tư tiêu hao: 23,1 kg (51 lb)
Khoảng trống tối thiểu (để kiểm soát nhiệt độ, độ ẩm và thao tác)	Phía trước: 48,3 cm (19 in); phía sau: 2,5 cm (1 in); hai bên: 30,5 cm (12 in) mỗi bên; phía trên: 30,5 cm (12 in); phía dưới: chân máy tạo khoảng hở với mặt bàn
Cấu hình	1 dòng (One-Stream) hoặc 2 dòng (Two-Stream, tùy chọn)
Nhiệt độ môi trường	10 – 40 °C (50 – 104 °F)
Độ cao	Thiết kế dùng ở độ cao đến 2.000 m (6.561 ft)
Độ ẩm tương đối tối đa	Đến 95%, không ngưng tụ

Bảo trì và hiệu chuẩn

Vật tư tiêu hao và chu kỳ bảo trì

Vật tư	Thời gian sử dụng
Thuốc thử boron	45 ngày ở chu kỳ lấy mẫu 3 phút; 90 ngày ở chu kỳ lấy mẫu 6 phút
Cột thuốc thử (Reagent Column)	12 tháng
Cột zero (Zero Column)	12 tháng
Đầu bơm nhu động (Peristaltic Pump Head)	12 tháng

Sản phẩm liên quan

Veolia

Máy phân tích TOC Veolia Sievers InnovOx On-Line

Máy phân tích TOC online Sievers InnovOx dùng công nghệ oxy hóa nước siêu tới hạn (SCWO), giám sát liên tục TOC trong nước thải, nước nguồn và nước làm mát công nghiệp, dải đo 50 ppb – 50.000 ppm.

Xem chi tiết →